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具有手套箱的控制气氛腔,可以控制样品及整个环境,因此可以在控制气氛下进行样品处理,并直接进行SPM观察。通过大型观察窗和两个手套孔,在腔体内可以进行样品前处理。作为in-Situ SPM可实时追踪温度、湿度、压力、光量、浓度等条件变化时的样品表面变化。 l 手套孔:2个(两轴) l 真空泵:旋转泵 涡轮分子泵(选配) l 减振机构:内装空气弹簧式减振台 l 加热/冷却机构,气氛吹扫机构等